潔凈車間氣體管道標準要求

  潔凈車間工業(yè)氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內，氫氣和氧氣管道明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。高純氣體管道設計，應根據(jù)計算確定管徑；管道系統(tǒng)應盡量短；不宜設預留口；不應出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位；干管和支管上應設置吹除口；在管系統(tǒng)上應設置吹除口；穿過潔凈車間墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫，管道與套管之間應采取可靠的密封措施；氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管，放散管應高出屋脊1m，并應設在防雷保護區(qū)內；氣體凈化裝置應根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進行選擇，氣體終端凈化裝置應設置靠近用氣點處；氣體過濾器應根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇，高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。

  根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料選用：氣體純度大于或等于99.999%時，應采用不銹鋼管；氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管；氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。管道與設備的連接段，宜采用金屬管道，如為非金屬軟管時，宜采用聚四氯乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳膠管；高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不銹鋼、有色金屬或氟橡膠材料；高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應，閥門的密合圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氯乙烯材料，閥門的填塞料應采用聚四氯乙烯材料。中凈環(huán)球凈化可提潔凈車間、潔凈廠房的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

  管道連接應采用焊接，高純氣體管道應采用承插焊；管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其他密封性能優(yōu)良的連接件，螺紋處宜采用聚四氯乙烯帶密封；高純性氣體管道的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理；氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器；氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置；各種氣體管道應設明顯標志。

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